半導体製造装置用ギヤボックスと減速機
半導体搬送システム向け専用ギヤボックス-ウエハ処理、マテリアルハンドリング、クリーンルーム自動化用に導入される
極めてデリケートなウエハやデバイスを安全に移動させる搬送システムは半導体製造の中核を担っています。クリーンルーム環境内での汚染を防ぎ、完全なアライメントを実現するために、すべての動作を極限まで精密に制御される必要があります。卓越した精度と高信頼性で、半導体製造の厳しい要求に対応します。微細な動作まで滑らかに同調させ、ウエハハンドリング全体の効率化と、トラブルフリーな安定操業を約束します。
利点
- 当社のギヤボックスおよび減速機は、滑らかで精密なモーションコントロールを実現。搬送プロセス全体を通じて、すべての動作を正確に安定駆動を担保します。
- 各ユニットに手動オーバーライド機能が搭載され、予期せぬ停電時やトラブル発生時にも、安全な手動操作を可能にします。
- 密閉性に優れた、清掃が容易な設計のため、ホコリや異物の混入を防止し、極めてデリケートなクリーンルーム環境に最適です。
- スムーズなシステム統合を想定した設計により、既存の半導体搬送システムや様々なモータ構成に容易に適合します。
- モジュール構造を採用することで、設置や位置決めの柔軟性を持ち、設備レイアウトや生産体制にも対応します。
- 複数ユニット間での優れた個体均一性は、同期運転と安定したスループットを保証します。
- すべてのギヤボックスは厳格な品質基準のもとで製造され、精度、信頼性、長期耐久性に優れています。
- メンテナンスが容易な効率設計で、ダウンタイムの短縮、生産ラインの円滑な連続稼働を保持します。
半導体コンベア用 高精度サーボ減速機
当社はお客様のフィードバックから、三菱電機製サーボモータを組み合わせた高精度サーボ減速機を開発しました。半導体搬送システムの「高精度」「優れたクリーン度」「安定した連続稼働」の厳格な要求に完全に対応します。
ギヤボックスには手動駆動機能を搭載しており、停電時でも半導体コンベアを安全に動かすことができ生産の滞りがありません。手動オーバーライドシステムはシンプルで信頼性が高く、製品の破損や異物混入など手動操作のリスクを完全に排除して円滑な作動を可能にします。













